
Wafer-Chucks für die Halbleiterindustrie
Elektronische Geräte werden immer kleiner, die Funktionen umfangreicher. Das stellt hohe Anforderungen an die Fertigungstechniken der Halbleiterindustrie, die mit aufwendigen Dünnungstechniken diesen Trend fortsetzt. Extrem ausgedünnte Wafer erfordern jedoch spezielle Handhabungstechniken um Besc…