6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion

Der 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik realisiert hochgenaue Ausrichtprozesse in der Halbleiterinspektion. (Bild: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Der 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik kombiniert einen Kreuztisch mit einem Tripod und erzielt dadurch ein Höchstmaß an Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit. Eine ideale Lösung für hochgenaue Inspektionssysteme in der Halbleiterindustrie.

Vor dem Vermessen bzw. Bearbeiten müssen Wafer und Optiken mikrometergenau ausgerichtet werden. Das erfordert kompakte Positionierlösungen, die kleine Stellwege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad zuverlässig und hochgenau realisieren. Mit dem 6-Achs-Manipulator bietet Steinmeyer Mechatronik die passende Lösung. Das Dresdner Unternehmen ist ein etablierter Lieferant für Positioniersysteme in der Halbleiterinspektion und kennt die applikationsspezifischen Anforderungen genau. Der 6-Achs-Manipulator zeichnet sich durch höchste Präzision im Submikrometerbereich sowie eine kompakte Bauweise aus und ist damit wie geschaffen für hochgenaue Ausrichtprozesse.

Hochpräziser 6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion

Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem Kreuztisch in der Horizontalen sowie einem Tripod für Vertikalhub und zwei Kippungen und kombiniert damit die Stärken kartesischer und parallelkinematischer Konstruktionen in einem System. Die kartesische XY-Verstellung realisiert Verfahrwege von ±15 mm, die Vertikalachse des Tripods ist für Hübe von ±10 mm ausgelegt. Die rotatorischen Achsen Rx und Ry ermöglichen Kippungen um ±2°, die Drehung um die Vertikale Rz beträgt 360°. Dank der Wiederholgenauigkeit von ±2,5 µm bzw. ±0,005° lassen sich sehr präzise Alignment-Ergebnisse erzielen – und das bei hohen Lasten bis 15 kg.

Ausrichten von Wafern und Optiken

Der Manipulator verfügt über eine zentrale Durchlichtöffnung von 250 mm und kann für das Ausrichten von Wafern und Optiken bis 300 mm/12? eingesetzt werden. Für größere 450 mm/18? Wafer und Optiken sind Sonderausführungen umsetzbar. Anwendung findet der 6-Achs-Manipulator unter anderem beim Testing und Bonding auf Wafern und PCBs sowie für Kombinationen von optischer Inspektion und Bearbeitung, beispielsweise beim Chip-on-Board Bonding (Messmikroskop und Laserlöten). Ausführungen für Reinraum sind erhältlich. Die Anbindung erfolgt via EtherCAT, CAN, Ethernet oder Profibus. Je nach Maschinenumgebung können Motion Controller für Beckhoff, ACI oder Siemens integriert werden. Vorbereitete Softwareschnittstellen und Bibliotheken für alle gängigen Industriesteuerungen und Hochsprachen (API) sind verfügbar.

Spezialist für maßgeschneiderte mechatronische Positionierlösungen

Seit mehr als 150 Jahren entwickelt und produziert Steinmeyer Mechatronik innovative, auf die jeweilige Anwendung perfekt zugeschnittene Positionierlösungen. Am Standort Dresden arbeiten alle Abteilungen – Entwicklung, Mechanik, Elektronik, Software, Fertigung, Montage, Messlabore, Testzentrum – vernetzt unter einem Dach. So können Synergien optimal genutzt und spezifische Kundenanforderungen schnell und unkompliziert realisiert werden.