Die Steinmeyer Gruppe gilt als ausgewiesener Spezialist für die Konstruktion, Entwicklung und Herstellung anspruchsvoller Positionierlösungen zur Wafer- und Chip-Herstellung. Ein Beispiel sind die Drehtische der Baureihen DT200 und DT310. Die hochpräzisen Rotationssysteme sind flach, reinraumtaug…
Für die DUV-Lithografie hat Steinmeyer am Standort Dresden, Europas größtem IKT-/Mikroelektronik-Zentrum, eine ultrakompakte, hochpräzise Positionierlösung zur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreier Stickstoff-Atmosphäre entwickelt. Die innovative Baugruppe ist als optionales Add-on z…
Mit dem 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative Lösung für hochpräzise Ausrichtprozesse. Die Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch gewährleistet ein Höchstmaß an Präzision, Robustheit sowie Zuverlässigkeit und begeistert gleichzeitig mit…
Der 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik kombiniert einen Kreuztisch mit einem Tripod und erzielt dadurch ein Höchstmaß an Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit. Eine ideale Lösung für hochgenaue Inspektionssysteme in der Halbleiterindustrie.
Vor dem Vermessen bzw. Bearbeiten müssen Wafer und O…
Der hochpräzise 8-Achs-Positionierer des Dresdner Positionierspezialisten Steinmeyer Mechatronik bietet eine Vielzahl an Verstellmöglichkeiten und lässt sich zu 100 % an die kundenindividuelle Applikation anpassen. Eine ideale Lösung zum Vermessen von Optiken, beispielsweise für die Qualitätss…
Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer bietet Steinmeyer Mechatronik eine hochwirtschaftliche Lösung für die Analyse und Inspektion großer Wafer bis 12 Zoll bzw. 300 mm. Das Inspektionsportal mit insgesamt vier Reinraumachsen erlaubt die automatisierte Prüfung mehrerer Objekte gleichzeitig und g…
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH hat in Kooperation mit der August Steinmeyer GmbH & Co. KG ein hochpräzises Positioniersystem für die Anwendung in trockener Stickstoffatmosphäre oder Vakuum entwickelt. Das Maskensystem eignet sich ideal für den Einsatz in der Standard- sowie hochauflösenden…
Der Kreuztisch KDT600 von Steinmeyer Mechatronik erreicht durch seine Größe und den Einsatz von Linearmotoren Durchsätze, welche wesentlich über denen von gekreuzten Spindeltischen liegen. Einzigartig ist das große Durchlicht. Die Apertur ermöglicht es, mit einer Beladung mehrere Mikrotiterpla…
Die Fokus-Linearachse LA85-SM-HV hat Steinmeyer Mechatronik speziell für anspruchsvolle emissionsarme Anwendungen im Reinraum, Vakuum und Hochvakuum entwickelt. Sie ist hochpräzise, extrem kompakt sowie HV-/UHV-tauglich – und damit ideal für die Medizintechnik, Pharmaindustrie und Lebensmitteli…
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