Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer für die Halbleiterindustrie

Der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik ermöglicht doppelten Durchsatz auf kleinster Stellfläche. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Das kompakte Inspektionsportal verfügt über insgesamt vier Reinraumachsen und erlaubt die automatisierte Prüfung mehrerer Objekte gleichzeitig. (Copyright: Steinmeyer Mechatronik GmbH)

Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer bietet Steinmeyer Mechatronik eine hochwirtschaftliche Lösung für die Analyse und Inspektion großer Wafer bis 12 Zoll bzw. 300 mm. Das Inspektionsportal mit insgesamt vier Reinraumachsen erlaubt die automatisierte Prüfung mehrerer Objekte gleichzeitig und gewährleistet höchste Effizienz.

Der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik verfügt über zwei X-Achsen für Scanner bzw. Mikroskope bis 10 kg sowie zwei Y-Achsen für Chucks bis 15 kg und ermöglicht die Prüfung von Vorder- und Rückseite auf einem System. Das komplett betriebsbereite Achssystem ist für den Einsatz im Drei-Schicht-Betrieb bis Reinraumklasse ISO 2 ausgelegt, äußerst kompakt gebaut, wartungsarm und kundenspezifisch konfigurierbar.

Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12 Zoll

Ob Wafer bis 12 Zoll bzw. 300 mm, Probecards oder Leiterplatten: Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik lassen sich große Substrate schnell und präzise untersuchen. Eisenlose Direktantriebe realisieren hochdynamische Fahrten mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000 mm/s bei Verfahrwegen von bis zu 720 mm. Der hohe Probendurchsatz gewährleistet eine schnelle Analyse und damit kurze Zykluszeiten. Trotz des doppelten Durchsatzes ist die Aufstellfläche aufgrund der kompakten Bauweise äußerst gering. Die Basis für die vier Reinraumachsen bildet eine massive, schwere Granitplatte, wodurch hervorragende Ablaufwerte erreicht werden. Dank der Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm lassen sich präzise Messergebnisse und enorme Qualitätssteigerungen erzielen.

Hohes Maß an Individualität

Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie inklusive Kabelmanagement, Motion Controller und Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten geliefert. Unterschiedliche Engineering-Leistungen und applikationsspezifische Anpassungen gestatten eine passgenaue Auslegung. So kann die Vertikalverstellung wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Darüber hinaus steht eine Vielzahl an Steuerungen zur Verfügung – mit DLL und API zur aufwandsarmen Softwareintegration bis hin zu SPS-Einbindung. Dank des Portalaufbaus lässt sich der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Reparatur, Instandhaltung und Wartung sind durch per Achstausch mit vorjustiertem Wechselinterfaces mit nur sehr kurzer Stillstandszeit erledigt.

Mehr Effizienz in der Halbleiterindustrie

Doppelter Durchsatz auf kleinster Stellfläche: Der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik setzt Maßstäbe hinsichtlich Perfomance, Bauraum sowie Handhabung und ermöglicht der Halbleiterindustrie erhebliche Effizienzsteigerungen.