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Reinheitstauglichkeit – eine Herausforderung für die Praxis
Der heutige Stand der Technik und Wissenschaft zeigt, dass Betriebsmittel und Verbrauchsmaterialien direkt oder indirekt die Prozesse in den Reinräumen beeinflussen können. Der Einfluss kann eine unerwünschte Erhöhung der Partikelanzahl in der Raumluft sein, aber auch ein schlechtes Ergebnis ein…