Excelitas Technologies Corp. erweitert Reinraumkapazität am Qioptiq-Standort in Göttingen

In dem Reinraum CleanCell© der ISO-Klasse 6 werden Halbleiter für optische Komponenten gemessen, montiert und später verpackt.

Die Techniker betreten den Reinraum durch eine Schleuse und legen dort reinraumgerechte Kleidung an, die nur wenige Partikel abgibt.

Die 12 qm große Materialschleuse erreicht die ISO-Klasse 7 und wird durch Schnelllauf-Rolltore vom Reinraum getrennt.

Qioptiq (seit Oktober 2013 ein Excelitas Technologies Unternehmen) hat sich auf die Herstellung von optischen Komponenten und Systemen spezialisiert. Die hochtechnologische Produktionsstätte in Göttingen ist innerhalb von Excelitas das Kompetenzzentrum im Bereich der Halbleitertechnologie und somit für das Unternehmen von strategischer Bedeutung im wachsenden Halbleitermarkt. In diesem Segment erwartet Qioptiq in den nächsten Jahren weitere deutliche Geschäftszuwächse. Das Photonik-Unternehmen investiert kontinuierlich in neueste Technologien, um auch zukünftig den stetig steigenden Anforderungen seiner Kunden gerecht zu werden. 

Um das steigende Auftragsvolumen in gewohntem Standard umsetzen zu können und die geforderten Lieferzeiten einzuhalten, hat Excelitas die Reinraumfertigung am Qioptiq-Standort in Göttingen Anfang 2015 kurzfristig erneut um eine Anlage der ISO Klasse 6 mit 175 qm Fläche erweitert. Bereits Ende 2012 war an diesem Standort ein neuer Reinraum in Betrieb genommen worden. Aktuell hat Qioptiq in Göttingen damit 430 qm Reinraumfläche zur Montage komplexer optischer Systeme zur Verfügung.

Zurzeit arbeiten rund 240 Beschäftigte bei Qioptiq in Göttingen. Weltweit beschäftigen Excelitas und Qioptiq zusammen zirka 5.500 Mitarbeiter.

Zusammenarbeit mit Schilling Engineering ermöglicht Inbetriebnahme nach nur zwei Monaten

Mit der Realisierung der technisch anspruchsvollen Anlage beauftragte das Göttinger Unternehmen bereits zum wiederholten Male die auf Reinraumtechnik spezialisierte Firma SCHILLING ENGINEERING GmbH. Eine besondere Herausforderung stellte dabei die kurze Planungs- und Aufbauzeit dar: Der neue Reinraum wurde innerhalb von nur zwei Monaten realisiert und Ende März 2015 in Betrieb genommen. Somit konnte Ende Mai 2015 termingerecht ein erstes Optikmodul an den Kunden ausgeliefert werden.

Dr. Robert Vollmers, Qioptiq Geschäftsführer: „Für unseren Kunden war es von höchster Wichtigkeit, das im neuen Reinraum montierte Produkt pünktlich zu erhalten. Ohne den hohen Einsatz und die hochwertige Arbeit der Ingenieure von Schilling Engineering zur termingerechten Qualifizierung des Reinraums wäre dieses Ziel nicht erreichbar gewesen. Das hohe Vertrauen unseres Kunden in Qioptiq konnte damit weiter gefestigt werden.“

Sebastian Illert, Leiter Operations Qioptiq Göttingen, ist von der Notwendigkeit des Einsatzes neuester Reinraumtechnik überzeugt: „Wir sind mit der Technik und der Funktionalität des Reinraums CleanCell sehr zufrieden. Mit unserer neuen Anlage bieten wir ein äußerst hohes Niveau in der Präzisionsfertigung von optomechanischen Systemen und Modulen. Die Zusammenarbeit mit den erfahrenen Technikern unseres Reinraumpartners war auch bei diesem Projekt unkompliziert und hat uns ein ausgezeichnetes Ergebnis gebracht. Schilling Engineering versteht unsere hohen Ansprüche und setzt sie schnell und präzise um.“ 

Hochmoderne Reinraumausstattung erfüllt höchste Ansprüche

Die Herstellung und Montage der optomechanischen Komponenten für integrierte Halbleiter fordert eine nahezu partikelfreie Umgebung und eine stabile Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Da die hochempfindlichen Bauteile schon durch kleinste Verunreinigungen in ihrer Funktion beeinträchtigt werden, findet der Produktionsablauf ausnahmslos unter kontrollierten Reinraumbedingungen statt.

Das neu installierte Reinraumsystem CleanCell© mit einer Gesamtfläche von 175 qm gewährleistet eine Reinraumluftqualität der Reinraumklasse ISO 6. Die Anlage besteht aus drei Reinräumen, die mit gegenseitig verriegelbaren elektrischen Schiebetüren miteinander verbunden sind. In dem größten Raum findet auf 85 qm die Montage der hochempfindlichen optomechanischen Komponenten statt, weitere Räume dienen der Prüfung und Verpackung und sind für spezielle Lasermessungen eingerichtet. Das Personal und die Bauteile werden über separate Personen- und Materialschleusen in den Reinraum eingeschleust. Da einige Bauteile ein großes Volumen aufweisen und auch die speziellen temperatur- und feuchtigkeitsstabilen Verpackungsmaterialien viel Platz einnehmen, wurde die Materialschleuse mit 12 qm konzipiert und mit breiten Rolltoren ausgestattet. Die speziellen Reinraumtore weisen eine hohe Dichtigkeit auf und halten durch das besonders schnelle Öffnen und Schließen den Luftaustausch und Druckabfall gering.

Das Reinraumsystem ist mit Hochleistungsfiltern der ULPA-Klasse U15 ausgestattet. Gerichtete Luftströmungen entfernen kleinste Schwebeteilchen aus der Arbeitsumgebung. Eine innovative Umluft- und Rückluftführung innerhalb der Reinraumwände sorgt für eine präzise Reinraumspülung und hat eine hohe Energieeffizienz, da die bereits gefilterte und gekühlte Luft wieder in den Kreislauf des Luftaustauschs geführt wird. Wand- und Deckenmodule des Reinraums sind mit einem silikonfreien Dicht-Clip-System verbunden. Dies garantiert eine äußerst hohe Dichtheit der Reinräume, eine geringe Partikelabgabe und bietet den Vorteil von flexiblen Erweiterungs- oder Rückbaumöglichkeiten des modular aufgebauten Systems. 

Erneut in Auftrag gegeben wurde auch der Einsatz des Reinraum-Kontrollsystems CR Control®, das sich am Göttinger Standort bereits in den vorhandenen Anlagen bewährt hatte. Über zwei interaktive Monitore des Kontrollsystems werden Verbindungen zu den angeschlossenen Fühlern, die Druck, Feuchte und Temperatur messen, zu Filtermodulen, Klimaschränken, Tür- und Lichtfunktionen und weiteren Komponenten hergestellt. Alle wichtigen Funktionen werden überwacht und können einzeln angesteuert und reguliert werden.