Ultraflacher Aligner zur präzisen Justage mit hohem Durchsatz

Der 3D Mask-Aligner MP700-3 ist eine innovative, industrietaugliche und skalierbare Lösung zur kompakten und präzisen Justage mit hohem Durchsatz. (Bild: Steinmeyer Gruppe)

Mit dem 3D Mask-Aligner MP700-3 bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative, industrietaugliche und skalierbare Positionierlösung für die Elektronik- und auch Halbleiterindustrie. Das parallelkinematische System mit Luftlagern und Direktantrieben arbeitet komplett partikel- und wartungsfrei und ermöglicht höchste Präzision bei ultraflacher Bauweise und hoher Dynamik.

Beim MP700-3 handelt es sich um einen ultraflachen Aligner mit einer Apertur von 730 x 730 mm zur hochgenauen Ausrichtung und Positionierung großer Substrate, Masken, Rahmen, Siebe und Druckplatten in partikelarmer Umgebung. Das Mehrachssystem verfügt über einen beweglichen Rahmen, der von drei identischen Modulen getragen wird, und realisiert zwei translative Bewegungen von ± 5 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von ± 3°. Aus den Einzelbewegungen der drei Antriebseinheiten resultiert gemäß dem parallelkinematischen Prinzip die Gesamtbewegung. Das sorgt für eine hohe Wiederholgenauigkeit von bis zu 0,4 µm bzw. ± 0,0002° bei Lasten bis zu 28 kg sowie eine ultra-flache Bauweise mit Abmessungen von 990 x 1.090 mm.

Innovativer Aufbau

In jedem Antriebsmodul sind poröse Luftlager aus Graphit, ein hochdynamischer elektronisch kommutierter Linearmotor und ein induktives Feedbacksystem auf Basis einer Maßverkörperung integriert. Mithilfe der Luftlager kann eine extreme Steifigkeit erreicht werden. Sobald der Messkopf in Position gebracht ist, wird die Luft aus den Lagern gelassen und das System durch seine interne Vorspannung fixiert. Linearantriebe und Schrittweiten im Submikrometerbereich gewährleisten höchsten Durchsatz sowie stabile Prozesse auf kleinem Bauraum. Alle Kabel und Schläuche für die Datenkommunikation sowie die Luft- und Energiezuführung sind fest verbaut. Das System arbeitet 100 % partikelfrei, ist vollkommen wartungsfrei und bietet eine unendliche Lebensdauer.

Vielzahl an Möglichkeiten zur individuellen Anpassung

Als Spezialist für kundenspezifische Lösungen bietet Steinmeyer Mechatronik eine breite Optionsvielfalt. Ob Apertur, Probenhalterung oder Erweiterung mit Z-Achse, ob integrierter Motion Controller oder SPS-Anbindung, ob Stand-Alone-Gerät oder flexibles Inline-Konzept: Die Möglichkeiten zur applikationsspezifischen Anpassung sind schier grenzenlos. Selbstverständlich sind auch ein individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung und Umhausung sowie eine Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 bis Klasse 1 möglich. Alle Parallelkinematiken liefert der Positionierspezialist vollständig montiert, ausgestattet mit der notwendigen Steuerung und getestet nach kundenindividuellen Kriterien.

Breites Anwendungsspektrum in der Elektronikindustrie

Mit dem 3D Mask-Aligner MP700-3 sprengt Steinmeyer Mechatronik technologische Limits und bietet der Elektronikindustrie eine innovative, industrietaugliche und skalierbare Lösung zur kompakten und präzisen Justage mit hohem Durchsatz. Anwendungsmöglichkeiten finden sich in den Bereichen Leiterplattenfertigung, UV-Drucker, Halbleiterinspektion, Halbleiter-Justage, Ausrichtung von Proben, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen sowie Elektronikfertigung.