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- Electronics (wafers, semiconductors, microchips,...)
Hochgenaue Ausrichtung von Wafern und Optiken
6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion
Der 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik kombiniert einen Kreuztisch mit einem Tripod und erzielt dadurch ein Höchstmaß an Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit. Eine ideale Lösung für hochgenaue Inspektionssysteme in der Halbleiterindustrie.
Vor dem Vermessen bzw. Bearbeiten müssen Wafer und O…