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Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik
1. Anforderungen an die partikuläre Reinheit
Bei den in der Halbleiterindustrie hergestellten Integrierten Schaltungen mit Strukturbreiten von aktuell bis zu 22 nm erschließt sich das hohe Maß an erforderlicher partikulärer Reinheit unmittelbar. Die partikuläre Reinheit, also das Nichtvorhandensei…