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Neue Investitionen in die Halbleiterforschung
Neue Investitionen in die Halbleiterforschung – Fraunhofer IISB und Universität Erlangen-Nürnberg erweitern Großgeräteausstattung im Reinraumlabor.
Am Fraunhofer IISB in Erlangen wird gerade eine neue Anlage zur Ionenimplan-tation in Betrieb genommen. Das knapp 15 Tonnen schwere und rund 3 Mio. Euro teure…