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System zum kontinuierlichen Monitoring von Partikelkontamination in Reinräumen jenseits der ISO 5 Klasse
APMon - Advanced Particle Monitoring System
Das System erlaubt erstmalig die kontinuierliche Überwachung von Oberflächen-Belastungen durch große Partikel. Es eröffnet Analysemöglichkeiten in Reinräumen jenseits der ISO Klasse 5, in denen kontinuierliche, extraktive Partikel - Monitoringsysteme prinzipbedingt keine Anwendungsmöglichkeiten haben.
APMON…