Vom Vorreiter in Sachen regenerative AMC-Filter
Hochwirksame Filter-Materialien für kosteneffiziente Außenluft-
Umluft- und Prozessluftfilterungen
Die Problemstellung:
Eine besondere Herausforderung in der Halbleiter-Fertigung mit geringen Strukturbreiten sind luftgetragene, gasförmige Substanzen, welche unerwünschte chemische Reaktionen an der Wafe…