Pfeiffer Vacuum stellt neue Turbopumpe HiPace 2800 IT für Ionenimplantationsprozesse vor
- Hohes Saugvermögen für leichte Gase
- Prozessanpassung durch intelligentes Temperaturmanagementsystem
- Niedrige Betriebskosten durch zuverlässige Hybridlager-Bauweise
Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist. Die durc…