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Fraunhofer ENAS erweitert Zusammenarbeit mit memsstar
Fraunhofer ENAS und memsstar Limited gehen eine Partnerschaft ein. Um die Qualität der reaktiven Ionenätzprozesse in der MEMS-Fertigung zu sichern und den Durchsatz zu erhöhen, arbeitet das Fraunhofer ENAS nun mit einer komplett überholten »Applied Materials Centura 5200« 200-mm-Plasmaätzanlage.
Das Fraunho…