Mini-Environments

Die Entwicklung der Reinraumtechnik weg vom Ballroom-Konzept verlangt Reinluftsysteme, die höchste Reinheit am Point-of-Use gewährleisten. Die MCRT GmbH hat hierzu ein modulares Mini-Environment-System entwickelt: die MCRT Clean Air Management Systeme. Dies sind Reinluftsysteme, die an Prozessmaschinen adaptiert werden. Hierbei werden über einen Druckraum mit Laminarverteiler-Luftauslass standardisierte Filter-Gebläse-Einheiten an die Geometrie der Maschine angepasst. Das erfordert auch bei verschiedenen Maschinentypen nur einen geringen Aufwand in der Vorhaltung von Ersatzteilen. Schwebstofffilter werden zwischen H14 und U17 eingesetzt (auch PTFE). Im Prozessbereich werden damit Reinraumklassen bis 0,1 gemäß Fed. Std. 209 erreicht. Die Systeme sind UL-, Sematech- und Semi-konform. Die Verpackung erfolgt in unserem eigenen Reinraum ebenfalls gemäß Semi-Standard.