Fotolithografie in einem neuen Licht – Reinräume für eine Hightech Branche

Abb X: Blick in einen mit speziellem Gelblicht geschützten Reinraum, in dem anspruchsvolle Geräte zur Fotolithografie hergestellt werden.

Abb X: In der Technikzentrale wird die Luft energieeffizient klimatisiert und für den Prozeß aufbereitet.

Abb X: Fertige Rein- und Sauberräume aufgestellt in dem neuen Standort

Abb X: ausgestattet mit einer AR-Brille kann sich der Kunde durch den Reinraum bewegen noch bevor dieser gebaut ist.

Heidelberg Instruments entwirft, entwickelt und fertigt maskenlose Laser-Lithographiesysteme für die Herstellung von Mikrostrukturen und bedient damit die weltweite Fotolithographie-Gemeinschaft sowohl im Bereich des Direktschreibens als auch in der Fotomaskenproduktion. Zu den Anwendungsbereichen gehören MEMS, Mikrooptik, Advanced Packaging (3DIC), IC, Flachbildschirme (FPD), Mikrofluidik, Sensoren und andere analoge und digitale elektronische Komponenten. Die Systeme werden in mehr als 50 Ländern in der Forschung und Entwicklung, im Rapid Prototyping und in der industriellen Produktion eingesetzt.

Zur Herstellung dieser komplexen Anlagen und Geräte wurden nun neue Räumlichkeiten an einem neuen Standort in der Nähe von Heidelberg erstellt.

Becker Reinraumtechnik hat die Reinräume und Sauberräume kundenindividuell geplant und schlüsselfertig erstellt: auf einer Fläche von insg. ca.  1.500 m² ist das Unternehmen für die Zukunft gut gerüstet und hat optimale Umgebungsbedingungen für die Produktion und Entwicklung.

Die technischen Anforderungen daran sind komplex: Temperatur- und Feuchtebereiche sind zuverlässig und ganzjährig sicher zu stellen, in den Gelblichtbereichen sind nur ganz bestimmte Wellenbereiche des Lichtes zugelassen, um die empfindlichen Produkte und Prozesse nicht zu gefährden.

Von elementarer Bedeutung ist aber auch die Energieeffizienz der Reinräume. Seit vielen Jahren haben die Spezialisten von Becker Reinraumtechnik bei jedem Projekt ein besonderes Augenmerk auf dieses Thema – die Energiepreise steigen immer weiter und auch klimaschonende Lösungen gewinnen an Bedeutung.

Durch eine ausgeklügelte Kälte- und Lüftungstechnik wurden in dem Heidelberger Projekt die Energieverbräuche für den Kunden auf ein Minimum reduziert: mit optimierter Außenluftaufbereitung, Reduzierung der Frischluftmengen durch gezielte Überströmungen sowie modernste Regelungstechnik können  die Reinraumanlagen im Volllast- und auch im Absenkbetrieb energieoptimal gefahren werden – das spart dem Kunden über die gesamte Lebensdauer bares Geld.

Auch schon in der Planungsphase ist man neue Wege gegangen: das gesamte Projekt wurde mit einer neuen BIM-fähigen Software erstellt, die den Planern neue Möglichkeiten einer integrierten Planung mit allen Beteiligten eröffnet. Aber auch der Kunde hat schon Vorteile bevor der Reinraumbau überhaupt beginnt: so konnten die Mitarbeiter des Kunden - ausgestattet mit einer AR (Augmented Reality = erweiterte Realität ) Brille - in der noch leeren Halle virtuell durch den späteren Reinraum gehen: die Reinraumgeometrie wird dabei dem Nutzer in das Sichtfeld eingeblendet und man kann Größenverhältnisse, Raumgefühl und Platzverhältnisse in der Realität sehen.

Es gibt einen klaren Trend zu solchen Anwendungen und Becker Reinraumtechnik bringt diese Technologie seit geraumer Zeit unter dem Begriff „Die Reine 4.0“ voran. Dabei bietet die oben beschriebene AR-Anwendung nur einen von vielen Vorteilen. Mehr dazu können Sie auf den nächsten Lounges 2023 in Karlsruhe sehen und erleben.