Clean Communication: SEMI Standards

SEMI Standards bilden die Grundlage für die digitale Kommunikation in der Mikroelektronik-Industrie. Es gibt verschiedene SEMI Standards, die die Integration von Lager- und Transportsystemen in automatisierten Fabriken, z.B. in der Halbleiterfertigung, erleichtern.

Der SEMI E88 Standard definiert beispielsweise eine Schnittstelle für die Anbindung von Stocker-Anlagen. In diesem Standard ist ein Betriebsmodell für Reinraum-Stocker festgelegt, wie sie von einer Fabrikautomatisierungssteuerung (Customer-Host) gesehen werden. Die Definition bietet eine Standard-Host-Schnittstelle und Informationen über das Betriebsverhalten der Anlage (z. B. Steuerung, Zustandsmodelle und Datenberichte). Auch Themen, wie der Umgang mit Warteschlangen sowie Terminierung und Transport der Transfereinheiten werden dort behandelt.

Aber nicht nur für Lagersysteme, sondern auch für Transporteinheiten gibt es entsprechende SEMI Standards. So definieren die Standards SEMI E82 und E153 die Kommunikationsbasis für Interbay- und Intrabay-Transportsysteme sowie für Materialhandhabungsgeräte, die den Transport, die Lagerung oder eine Kombination aus Transport und Lagerung unterstützen.

Zu jedem Lager- und Transportsystem von Schiller gibt es die entsprechende Software zur Lagerverwaltung und -steuerung, zur Steuerung der Fördertechnik sowie zur Datenerfassung und -auswertung. Bei Bedarf kann diese für kundenspezifische Anforderungen erweitert werden, wie etwa Sonderabläufe, besondere Features oder weitere Schnittstellen.

Die Softwarelösungen von Schiller sind standardkonform und bedienen sich den o.g. SEMI-Standards, um eine einfache Integration in den Fabriken zu ermöglichen. Die Besonderheit: Schiller verfügt über eine eigene Treibersoftware, die die Kommandos interpretiert und übersetzt - somit wird kein Drittanbieter-Tool benötigt. Dadurch ist es möglich, spezielle Kundenwünsche zu realisieren und flexibel auf Anforderungen zu reagieren.