Einer für alle: Flexibler Transport im Reinraum

Seit mehreren Jahren stellt die Transportautomatisierung im Reinraum einen wesentlichen Ansatz zur Produktivitätssteigerung dar. Dabei finden verschiedene Systeme Anwendung, um die manuelle Transporttätigkeit durch Operator zu ersetzen. Zum einen deckengebundene OHT-Shuttle Systeme, bodengestützte AMR oder auch Conveyor Netzwerke.

In der Halbleiter-Industrie gibt es abhängig vom Durchmesser der produzierten Wafer verschiedene Transportbehälter, in die mehrere Wafer (sogenannte Horden) eingesetzt werden. Während OHT-Systeme zum Großteil nur für 300 mm FOUP verfügbar sind, sind AMR und Conveyor häufig auch für kleinere Scheibendurchmesser und Kassettentypen einsetzbar.

Insbesondere wenn es um sehr hohe Durchsätze geht, kommen AMR jedoch sehr schnell an die Grenzen ihrer Leistungsfähigkeit. In diesem Fall können Conveyor-Systeme hohe Durchsätze sicherstellen und das trotz sehr einfachem Funktionsprinzip.

Das Reinraum-Transportsystem von Schiller bietet eine hochverfügbare und leistungsstarke Lösung für die Intralogistik in modernen Halbleiterfabriken, Kernstück ist das Reinraumfördersystem (Cleanroom Conveyor).

Mit seiner aktuellsten Weiterentwicklung dieses Cleanroom Conveyors hat Schiller ein System geschaffen, das nun noch flexibler einsetzbar und an den Bedürfnissen der Kunden orientiert ist. Neben dem bisher im Portfolio befindlichen 300 mm Conveyor können mit der Weiterentwicklung auch weitere Kassettentypen (150 mm OC, 200 mm OC, HA 200) transportiert werden. Bei Bedarf auch alle Behälter-Typen auf derselben Conveyor Strecke. Dieser Mischbetrieb ist häufig dann notwendig, wenn in absehbarer Zeit etwa der produzierte Durchmesser vergrößert werden soll oder verschiedene Produkte über dieselben Produktionslinien laufen.

Die neue Fördertechnik besitzt ebenfalls die bewährte magnetische Kupplung zur berührungslosen und damit reibungsfreien Kraftübertragung (keine Riemen oder bewegten Teile), sowie zwei Antriebsstränge je Element, sodass alle Rollen angetrieben werden. Alle Vorzüge hinsichtlich Wartungsfreundlichkeit und einfacher Installation, wie der schnelle Zugriff auf alle wesentlichen Förderelemente (Zugang von oben/unten) und der schnelle Austausch der Antriebsrollen (Quick-Change), bleiben in der Weiterentwicklung ebenfalls erhalten.

Cleanroom Conveyor von Schiller finden Einsatz in Reinräumen bis zur ISO Klasse 3.