Chipkrise lässt Automatisierung im Reinraum boomen

Schiller Reinraum-Fördersystem

Der Mangel an Halbleitern sorgt derzeit in diversen Industrien für erhebliche Probleme. Gerade in diesen Zeiten der Chipkrise ist die Automatisierung in der Halbleiter-Herstellung noch wichtiger geworden. Dass die Automatisierung im Reinraum boomt, kann auch das Unternehmen Schiller bestätigen, die maßgeschneiderte und patentierte Intra-Reinraum-Logistiklösungen weltweit anbietet.

Vor mehr als 10 Jahren begann Schiller mit der Entwicklung seiner ersten Reinraum-Lösung. Markus Haider, Bereichsleiter Cleanroom Intralogistics, war von Anfang an dabei und berichtet, wie es zum ersten Auftrag kam: „Bei einem Projekt mit einem Unternehmen in Deggendorf, wo wir HMI Systeme für Vertikalbohranlagen für Geothermie-Anwendungen projektiert haben, arbeiteten wir mit einem ehemaligen Mitarbeiter einer Halbleiterfirma zusammen. Wegen dem guten Projektverlauf und der daraus entstandenen Empfehlung für die Firma Schiller an seinen alten Arbeitgeber, wurde die Halbleiterfirma auf uns aufmerksam. Sie kontaktierten uns, ob wir uns zutrauen würden, ein Hochregallager für den Reinraum mit der ISO-Klasse 5 zu bauen. Wir willigten ein und begannen unsere erfolgreiche Reise im Cleanroom.“

Mittlerweile hat sich Schiller mit seinen partikelreduzierten Lagerlösungen und entsprechenden Fördersystemen für Reinräume der Halbleiter- und Elektronikindustrie neben der klassischen Automatisierungstechnik ein weiteres Standbein geschaffen. Derzeit hat Schiller im 200mm Bereich ein weltweit einzigartiges Portfolio von Anlagen inkl. Software zur Automatisierung von Halbleiterfabriken, dass dem Unternehmen ein Alleinstellungsmerkmal sichert.

Der Anfang war jedoch nicht leicht, da die Entwicklung für den Reinraum ganz besondere Herausforderungen mit sich bringt.

1. Herausforderung: Reinheit

Bei der Automatisierung für den Reinraum steht an erster Stelle die Vermeidung von Partikeln, die z.B. durch Abrieb von Bauteilen entstehen könnten. Dazu gibt es ISO-Klassen, die eingehalten werden müssen. Diese beschreiben die max. erlaubte Anzahl an Partikeln in der Luft, in der Klasse fünf sind z.B. 3520 Partikel in der Größe von 0,5 Mikrometer je Kubikmeter Luft erlaubt. Verglichen damit ist frische Bergluft in 2000 m Höhe mit rund 30 Millionen Partikel geradezu „verschmutzt“. Die Produkte von Schiller können letztendlich sogar in Anlagen der ISO-Klasse 3 mit nur 35 Partikel je Kubikmeter Luft betrieben werden - dem reinsten Raum, wo sich noch ein Mensch aufhalten darf.

2. Herausforderung: Platz

Die Flächen im Reinraum sind durch die erhöhten Anforderungen enorm teuer. Deshalb konzentriert sich Schiller bei der Entwicklung neuer Innovationen neben der Reinheit vor allem auch auf möglichst platzsparende Lösungen. Hinzu kommt, dass sich die Systeme kombinieren und nahtlos in bestehende Umgebungen integrieren lassen müssen. Mit seinen Produkten schafft Schiller offene und flexible Reinraumlösungen, die mit den Anforderungen des Kunden mitwachsen können.

3. Herausforderung: Eigener Reinraum für Entwicklung und Inbetriebnahme

Die automatisierten Systeme müssen bereits in einem Reinraum gefertigt werden, damit sie später beispielsweise in einer Fab - so werden die Fabriken zur Halbleiterherstellung genannt - zum Einsatz kommen können. Ein Reinraum ist dazu da, um darin sensible Entwicklungs- und Fertigungsprozesse zu realisieren. Bereits kleinste Partikel in der Luft können beispielsweise zu Beschädigungen an den Wafern, aus denen später diverse Mikrochips hergestellt werden, führen. Deshalb werden die Lager und Fördersysteme im hauseigenen Reinraum am Firmensitz in Osterhofen entwickelt und in Betrieb genommen. Ein weiterer Grund: Alle Anlagen werden von den Kunden vor der Auslieferung auf Herz und Nieren getestet und müssen daher komplett aufgebaut und funktionsfähig sein. Dabei werden neben der Funktionalität von Software und Anlage auch die Anzahl der erzeugten Partikel gemessen, die bei Betrieb der Anlage entstehen.

Produktportfolio Schiller Cleanroom

Schiller liefert Stocker (Lagersysteme) und Transportsysteme für 200 mm und 300 mm Carrier, sowie für kundenspezifische Ladungsträger und Produkte. Mittlerweile können mit den Produkten aus dem Reinraumsegment komplette Fertigungsstrecken automatisiert werden.