Linear Hoist System

Linear Hoist

Linear Hoist Grafik

Die Herstellung von Halbleitern erfordert eine Vielzahl von Produktionsschritten, die an so genannten Equipments durchgeführt werden. Für eine effektive Halbleiterproduktion müssen die einzelnen Stationen zeitgerecht und flexibel mit Wafern versorgt werden, daher wird dies zunehmend automatisiert. Dazu werden in den Fabs (Fabriken zur Halbleiterherstellung) unterschiedliche Fördersysteme für die Behälter, in denen die Wafer gelagert und transportiert werden, eingesetzt.

Mit dem Linear Hoist System von Schiller wird die automatisierte Versorgung von Produktions- oder Mess-Equipment mit den Wafern in den einzelnen Bays (Produktionsbereiche) einer Fabrik gewährleistet. Neben dem Einsparpotential auf der Personalseite ergeben sich durch das Linear Hoist System auch positive Effekte bei der Auslastung der angebundenen Equipments. Signifikate Steigerungen der Equipment-Auslastung können mit dem Linear Hoist aufgrund verkürzter Wartezeiten der Equipments beim Kassettenwechsel erreicht werden. Das System kann dabei für verschiedene Behälterformen (FOUP, FOSB, 200mm/300mm Kassetten) eingesetzt werden und erfüllt die Reinraumklasse ISO-3.

Im Gegensatz zu klassischen Shuttle-Systemen ist das Linear Hoist System nicht schienengebunden. Das Deckenportal mit einer x- und y-Achse und einer Abseileinheit (z-Achse) ermöglicht eine hohe Flexibilität beim Anfahren der Equipments und bietet durch die Anbringung an der Decke eine platzsparende Lösung. Von dort aus können die Behälter mit hoher Geschwindigkeit (x-Achse: 2m/s, y- und z-Achse: 1m/s) an die Übergabeports der Produktionsanlagen übergeben werden.

Im Zusammenspiel mit Fördersystemen, z.B. dem Schiller Cleanroom Transport System oder OHT-Systemen (Overhead Hoist Transport) ist so eine reibungslose 24/7-Versorgung - ohne Eingriffe der Operator - mit Horden möglich.

Die induktive, berührungslose Energieübertragung entlang der x- und y-Achse sowie die Datenübertragung zum Greifer erfolgt ohne Schleppketten über die Greiferseile. Durch die hohe Wiederholgenauigkeit des Linear Hoist können Loadports am Equipment oder Cinematic Coupling Pins am Schiller Cleanroom Transport System zuverlässig und absolut reproduzierbar angefahren werden.

Für die Zwischenlagerung (Pufferplätze) ist zudem die Integration eines Decklagers möglich. Damit können die Wafer sehr nah zum Prozess positioniert werden und ohne Zeitverluste die Produktionsstationen beliefern. Die Anzahl der Lagerplätze kann dabei abhängig von den Abmessungen des Linear Hoist Systems angepasst werden und bis zu mehrere hundert Stellplätze betragen.