Hochschule Karlsruhe ? Technik und Wirtschaft

Hochschule Karlsruhe ? Technik und Wirtschaft

Zur Vermittlung der erforderlichen Technologien für die Herstellung hochintegrierter Baugruppen steht der Fakultät ?Maschinenbau und Mechatronik?, aber auch für Kollegen anderer Fakultäten nutzbar, ein Reinraum der Klasse 10.000 (FedStd.209D) bzw. nach DIN EN ISO 14644-1 Klasse 7 zur Verfügung. Weitere Teilbereich insbesondere für die Mikromontage sowie die Aufbau- und Verbindungstechnik von ungehäusten Halbleitern stehen Reinraumbereiche der Klasse 1000 (FedStd.209D) bzw. nach DIN EN ISO 14644-1 Klasse 6 und Klasse 100 (FedStd.209D) bzw. nach DIN EN ISO 14644-1 Klasse 5 zur Verfügung.

Die Zielrichtung ist hierbei die theoretische Veranstaltungen über Reinraumtechnik, Dickschicht-/Hybridtechnik, Mikromechatronik bzw. Hybride Integration mit parallel dazu durchgeführten Übungen und Projekten zu verdeutlichen und zu vertiefen.

An dieser Stelle danke ich, besonders auch im Namen aller Studierenden und Kollegen, die diesen Reinraum nutzen können, dass ich den Aufbau und die Weiterentwicklung bis zum heutigen Tage mit Hilfe der stets angenehmen Kooperationen mit den Instituten IMT und IPE des Forschungszentrums Karlsruhe und der Abteilung Mechatronik des IPEK der Universität Karlsruhe, Institutionen des KIT (Karlsruher Institut für Technologie), betreiben konnte. Gerade bei den komplexen Projekten der Mikromechatronik hat sich gezeigt, dass ein institutionenübergreifendes Zusammenarbeiten stets zum Vorteil aller Beteiligten gelangt. Der Vorteil insbesondere für unsere Studierenden liegt in den Distanzen von wenigen Kilometern zwischen allen genannten Institutionen. Mit dem ERASMUS Mundus Programm Master of Science in Mechatronic and Micro-Mechatronic Systems ergibt sich gerade in diesem Bereich eine zunehmende Nutzung dieses Labors und eine zusätzliche sehr intensive Zusammenarbeit mit dem IMT Und IPE des Forschungszentrums Karlsruhe. Im Rahmen des Technologietransfers über das Steinbeis Transferzentrum Mechatronik Karlsruhe mit Unternehmen aus Industrie und Handwerk werden hier Projekte durchgeführt.

Prof. Fritz J. Neff

Bild 1: 180° Panoramablick in den Reinraum des LMHS
Lithographie, Siebdrucktechnik, Flip-Chip-Bonding, Die-/Wire-Bonding, Pull-and-Shaer-Test, Reinraum-Monitoring-System