Wafer-Konservierung durch N2-Purging

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Picture: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Picture: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Ein großer Teil unserer Luft, die wir tagtäglich einatmen, besteht aus Stickstoff (N2). Während der menschliche Körper jedoch nur den Sauerstoff aus der Luft nutzt, hat Stickstoff für einige Industriezweige eine wesentliche Bedeutung.

Im Gegensatz zu Sauerstoff ist Stickstoff ein sehr reaktionsträges Gas mit einer geringen Feuchtigkeit und daher optimal geeignet für die Lagerung empfindlicher Güter, z.B. in der Elektronik- und Halbleiterindustrie. Durch die in der Luft enthaltenen Feuchtigkeit, aber auch durch Sauerstoff können beispielsweise an Silizium-Wafern Schäden entstehen. Deshalb wird dort mit Hilfe von Stickstoff eine sauerstoffarme Atmosphäre geschaffen, die eine langsame Oxidation in Form von Korrosion verhindert.

Das Unternehmen Schiller bietet mit seiner Purging Bay eine Lösung für die Wafer-Konservierung während der Lagerung. Jeder Stellplatz der Stocker (Reinraumlager) kann mit dieser doppeltiefen Lagerstation ausgestattet werden. Auf der Purging Bay können zwei FOUP Kassetten (Behälter für die Wafer) hintereinander eingelagert und mit Stickstoff gespült werden. Die Purging Bay wurde von Schiller entwickelt und konstruiert und kann im Schiller Linear Stocker oder Max Stocker eingesetzt werden.

Auf der Schiller Purging Bay können alle 300 mm FOUP-Kassetten bekannter Hersteller, die an der Unterseite über ein Ein- und Auslassventil verfügen, eingelagert werden. Kinematic Coupling sowie ein Placement-Sensor an der Oberseite der Konstruktion sorgen für eine präzise Platzierung der Kassetten.

Alle Komponenten der Purging Bay, wie die Ein- und Auslassventile, die Filterelemente und die Elektronik-Bauteile sind auf der Unterseite der Konstruktion platzsparend angebracht. Damit ergibt sich eine geringe Bauhöhe von nur 50 mm. Je nach Bedarf kann die Spülzeit und das Spülintervall kundenspezifisch über die Schiller Lagermanagement-Software SWarePro festgelegt werden.

Die Purging Bay wird bereits in diversen Projekten mir mehreren 1000 Stellplätzen eingesetzt. Dabei wird jede Bay noch vor der Auslieferung - im hauseigenen Reinraum von Schiller - einem kompletten Funktionstest der mechanischen und elektrischen Komponenten unterzogen.