Vom Vorreiter in Sachen regenerative AMC-Filter
Vom Vorreiter in Sachen regenerative AMC-Filter
Hochwirksame Filter-Materialien für kosteneffiziente Außenluft-
Umluft- und Prozessluftfilterungen
Die Problemstellung:
Eine besondere Herausforderung in der Halbleiter-Fertigung mit geringen Strukturbreiten sind luftgetragene, gasförmige Substanzen, welche unerwünschte chemische Reaktionen an der Waferoberfläche und Prozessgeräten auslösen können. Diese chemische Reaktion der in der Prozessluft vorhandenen Säuren, Basen, Organika und Dopants sind bekannt unter der Bezeichnung AMC (Airborne Molecular Contamination). Ihre Kontrolle bedeutet die Investition in AMC-Filter mit allerdings begrenzter Leistungsdauer. Hier sind nicht nur hochwirksame, sondern auch regenerative, kosteneffiziente Lösungen gefragt.
Die Lösung:
Hochwirksame AMC-Filter. M+W Zander Products bietet als einer der führenden Anbieter eine Vielzahl von Produkten und Dienstleistungen im AMC-Bereich an. Zur Reduzierung der gasförmigen Kontaminanten kommen verschiedenste Filtermedien zum Einsatz, vom Aktivkohlematerialien bis hin zum eigens für die Halbleiterindustrie entwickelten hochwirksamen faserförmigen Ionenaustauschermedium. Hier hat M+W Zander Products eine weltweit führende Stellung und verfügt über einzigartige faserförmige Ionenaustauschermaterialien, welche sowohl zur Abscheidung von sauren als auch basischen Kontaminanten eingesetzt werden können. Alle Filter können für die Anwendung in Außen- und Umluftgeräten (V-Zellen Bauform) sowie als Tool- und Prozessschutzfilter (flache Bauform) hergestellt werden.
Kosteneffiziente regenerative Filter.
Entgegen den bisher in Reinräumen eingesetzten HEPA-Filtern zur Partikelabscheidung besitzen AMC-Filter eine begrenzte Abscheidekapazität und müssen somit nach circa 1?3 Jahren Betriebszeit durch neue Filter ersetzt werden. Dies verursacht sowohl hohe Betriebskosten als auch große Mengen an Abfall. Die Abfallreduktion war ein entscheidendes Argument für die Entwicklung von regenerierbaren Filterprodukten, basierend auf Aktivkohlematerialien sowie auf Ionentauschern. Durch die mehrmalige Verwendung werden einerseits die Betriebskosten und andererseits auch die Abfallmengen deutlich reduziert.
