- Matten
Hans J. Michael GmbH
Partikelzähler
Zur Überprüfung der Sauberkeit im Reinraum
Für kontinuierliche Qualität und geringe Produktionsausfälle ist eine saubere Umgebung eine wichtige Voraussetzung. Dies gilt vor allem für Halbleiter-Fertigungsanlagen für Strukturen im Mikro- und Nanobereich sowie in der Mikrochipherstellung, im Bereich der Medizintechnik, der Feinwerktechnik und im Kosmetikbereich. Um eine möglichst perfekte Sauberkeit im Reinraum zu erzielen, dürfen die Komponenten wie z.B. Wände, Decken, Fußböden oder Filter keine störenden Partikel aufnehmen oder abgeben. Die Mitarbeiter dürfen den eigentlichen Reinraum nur in spezieller Reinraumkleidung und nur über geeignete Schleusen oder Luftduschen betreten. Aber wie können wir sicherstellen, dass die Reinräume den gesetzten Anforderungen entsprechen? Hier kommt der Partikelzähler als Kontrollinstrument zum Einsatz. Er misst z.B. mittels Streulichtmethode die Anzahl und Größe von in der Luft getragenen Partikeln, welche die Qualität und Funktionalität von Produkten wesentlich beeinträchtigen können. Je nach Anforderung, Reinheitsklasse und Prozessabläufen können mobile oder stationäre Partikelmessgeräte zum Einsatz kommen. Vom kleinen, leichten Handgerät wie unseren HHPC+ über größere, 50 oder gar 100 Liter Tischgeräte der 3400 Serie bis hin zu fest installierten Remotezählern samt Monitoring Software.
Hans J. Michael GmbH
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