Neuer Weißdruck VDI 2083 Blatt 9.1 "Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit und Reinheitstauglichkeit"

Betriebsmittel und raumlufttechnische Komponenten besitzen keine genormte Reinheitsklasse, sondern nur eine Tauglichkeit für den Einsatz in Reinräumen, deren Luftreinheit in genormter Weise spezifiziert ist. Dies bedeutet, dass Betriebsmittel und raumlufttechnische Komponenten z. B. bezüglich des Einsatzes in der Reinraumumgebung mit einer definierten Partikelreinheitsklasse der Luft beurteilt werden können.

Parameter der Reinheitstauglichkeit können z. B. das ESD-Verhalten, die Emission leicht flüchtiger organischer Substanzen, die Reinigbarkeit oder das Sedimentationsverhalten teilchenförmiger Verunreinigungen auf technischen Oberflächen sein. Welche davon im Einzelfall zu prüfen sind, hängt vom Prozess ab.

Neben der Reinheitstauglichkeit beschreibt VDI 2083 Blatt 9.1 die Oberflächenreinheit und deren Klassifizierung.