OWIS® Ultrahochvakuum: das nächste Level

Foto: OWIS® Reinraum jetzt erweitert. / Photo: OWIS® clean room now expanded.

Zum Herbst dieses Jahres erreicht OWIS® das nächste Level im Bereich Vakuum: mit vakuum-präparierten Positionierern und optischen Komponenten für Vakuumanwendungen in Druckbereichen bis 10-9 mbar. Bisher waren OWIS® Vakuum-Produkte für Bereiche bis 10-6 mbar ausgelegt. Die neuen Ultrahochvakuum-Produkte bedeuten eine erhebliche Ausweitung der Einsatzmöglichkeiten.

Bei der Fertigung der UHV-Produkte wird auf die Einhaltung höchster Standards geachtet. Alle 10-9 mbar Produkte werden ohne Messing-Legierungen hergestellt. Zudem kommen ausschließlich Materialien in blankem Zustand zum Einsatz, das heißt ohne Beschichtung. Zur Ver-meidung von virtuellen Lecks sind zusätzlich alle Sacklöcher entlüftet. Die Einzelteile werden vorab einer sorgfältigen Reinigung unterzogen und anschließend im OWIS® Reinraum der ISO-Klasse 5 montiert, vermessen und verpackt. Auf diese Art wird sichergestellt, dass die Produkte nicht durch Schmutzmoleküle verunreinigt werden.

Um den Bereich Ultrahochvakuum insgesamt zu stärken und optimale Bedingungen zu schaffen, wurde die 2016 gebaute Reinraumfläche nach umfassenden Umbaumaßnahmen in diesem Jahr verdoppelt. So stehen nun insgesamt über 40 Quadratmeter Reinraumfläche zur Verfügung, ausgestattet mit innovativer Technik und den neuesten Standards entsprechend.

Das Angebot, Produkte für Ultrahochvakuum zu fertigen, umfasst nahezu das komplette OWIS® Produktprogramm, angefangen im Bereich der Strahlführungssysteme, beispielsweise Systemschienen und Optikhalter, bis hin zu manuellen und motorisierten Positionierern. Zur Einhaltung der Grenzwerte werden bei den motorisierten Varianten spezielle UHV-Motoren verwendet. Die Standard-Produkte für 10 9 mbar werden ohne End- beziehungsweise Referenzschalter geliefert, können aber auf Wunsch mit UHV-tauglichen Schaltern ausgestattet werden. Die 10-9 mbar Produkte sind, wie alle OWIS® Produkte, von höchster Qualität und natürlich „Made in Germany“.