AP&S International GmbH erzielt Wettbewerbsvorteil durch Investition in eine Hochleistungs-Wasseraufbereitungsanlage

Besuch der Vertreter des Landratsamtes und Gewerbeaufsichtsrats bei AP&S und Besichtigung der neuen Hochleistungs-Wasseraufbereitungsanlage (von links nach rechts) Ursula K. Schübel vom Landratsamt Schwarzwald-Baar-Kreis vom Bereich Umweltschutz; Robert Preisser, Adjunct Professor bei AP&S; Stefan Zürcher, Prozessingenieur bei AP&S; Ortwin Geschke vom Gewerbeaufsichtsamt Schwarzwald-Baar-Kreis; Philipp Scheu, Fertigungsleiter bei AP&S; Christian Mayer, Director Manufac-turing & Logistics bei AP&S; Wolfgang Gebicke, Key Market Manager bei H+E Stuttgart. / Inspection of the new water treatment by the representatives of the district administration office and the trade supervisory at the AP&S headquarters in Donaueschingen (left to right): Ursula K. Schübel from the environment protection department, district office for the Black Forest Region; Robert Preisser, Adjunct Professor at AP&S; Stefan Zürcher, Process Engineer at AP&S; Ortwin Geschke from the trade supervisory office of the Black Forest Region; Philipp Scheu, Head of Production at AP&S; Christian Mayer, Director Manufacturing & Logistics at AP&S; Wolfgang Gebicke, Key Market Manager at H+E Stuttgart.

Die Investition in eine Hochleistungs-Wasseraufbereitungsanlage (UHPW) zahlt sich für AP&S International GmbH (AP&S) aus, denn diese bringt dem Unternehmen nicht nur Wasser- und Kostenersparnis, sondern in erster Linie technologischen Fortschritt, erhebliche Vorteile für die Kunden und dadurch einen wesentlichen Wettbewerbsvorteil für AP&S auf dem internationalen Markt.

Seit Anfang 2017 ist die neue Hochleistungs-Wasseraufbereitungsanlage (UHPW), die eine Stadtwasseraufbereitung durch die Reduktion der Inhaltsstoffe bis in den Ultra-Spurenbereich (<1ppb pro Element) möglich macht, beim Unternehmen AP&S in Donaueschingen Aasen in Betrieb. Lieferant der Anlage ist die Firma Haage & Elsässer (H&E) aus Stuttgart. H&E ist seit  Jahren im Technologiefeld der ultra-reinen Wasseraufbereitung tätig und zählt zu den globalen Technologieführern für derartige Systeme.

Die extrem hohen Anforderungen an die Reinheit nasschemischer Prozessanlagen in der Halbleiter-Industrie waren ausschlaggebend  für die Investitionsentscheidung. Bevor die Prozessanlagen in einer Halbleiterfabrik zum Einsatz kommen, müssen diese die notwendigen Reinheitsspezifikationen erfüllen. In der Praxis bedeutet dies, dass vor der Inbetriebnahme langwierige Spülzyklen beim Kunden notwendig sind, die Zeit und Ressourcen verbrauchen. Dem AP&S Entwickler- und Prozesstechnikerteam war klar, dass eine Optimierung dieses Prozesses den Kunden erhebliche Vorteile bringt. Die Grundidee für das Projekt war somit geboren. In 2016 folgten die Investition und der Aufbau der neuen Hochleistungs-Wasseraufbereitungsanlage.

Stefan Zürcher, Prozessingenieur bei AP&S fasst die wesentlichen Vorzüge der neuen Wasseraufbereitungstechnologie, die ihren ersten Einsatz findet, zusammen: „Weniger Wasserverbrauch und geringere Kosten, bei kalkulierbarem Risiko für die Prozessreinheit, das mit Monitorstationen überwacht wird, sind die Eckpfeiler der neuen Wasseraufbereitung. Neu am Anlagenkonzept  ist auch, dass das Wasser intern recycelt werden kann. Die UHPW Anlage hat eine Lagerkapazität von 6-8 m³ UHPW und eine Produktionskapazität von 3m³ pro Stunde ultra-reines Wasser, welches im Betrieb zum freispülen, säubern und konditionieren von Anlagen verwendet wird.“

AP&S Prozessanlagen werden nun vor der Auslieferung mit dem aufbereiteten Reinstwasser gespült und mit optischen Partikelzählern (>0.1 µm) und Proben für die Kationen-Spurenanalysen (ICP-MS oder GF-AAS) vermessen und qualifiziert. Dadurch können die Anlagen nach der Installation beim Kunden in einer Halbleiterfabrik schnell in Betrieb genommen werden und erzielen von Anfang an geringste Defektdichten (Nanometer-Bereich) auf den Wafern und den Chips. Diese Optimierung bringt den Kunden maßgebende Zeit-und Kostenersparnis.

„Die neue Wasseraufbereitungsanlage ermöglicht es AP&S, den Kunden Prozessanlagen zu liefern, die dem höchsten Standard der Nano-Technologie gerecht werden“, sagt Robert Preisser, Adjunct Professor bei AP&S, der das Projekt initiiert, spezifiziert und die Umsetzung unterstützt hat.

„Mit dieser Technologieneuerung hat sich AP&S an die Spitze der mittelgroßen Anbieter von Prozessanlagen gesetzt, die die Halbleiter- und Nano- Technologie unterstützen. Damit haben wir unsere Wettbewerbsfähigkeit ausgebaut und sich als globaler Technologieanbieter in dieser Branche empfohlen.“ ergänzt Geschäftsführerin Alexandra Laufer-Müller.