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Der weltweit erste 20 nm Partikelzähler für Chemikalien

Particle Measuring Systems führt den neuen Chem 20™ Partikelzähler ein.


12. Juli 2016, Boulder, CO- Particle Measuring Systems (PMS) stellt den weltweit ersten und einzigen 20 nm Partikelzähler für hochreine Prozesschemikalien vor. Der Chem 20™ hat erfasst Partikel ab 20 nm PSL bzw. ab 9 nm Gold.

Mit der fortschrittlichen Laseroptik und Detektortechnologie von PMS erkennt dieses innovative neue Produkt sehr kleine Partikel, die mit bisher verfügbaren Produkten nicht erfasst wurden. Der Chem-20 verfügt über einen On-Board-Durchflussmesser und Blasen-Detektor zur Optimierung der Datenqualität und zum Schutz des Sensors. Der Chem 20 ist in zwei Varianten verfügbar. Optimiert für niedrige oder hohen Brechungsindex der zu überwachenden Chemikalien verbessert dies die Geräteleistung und Genauigkeit erheblich gegenüber bestehenden Technologien.

"Der Chem 20 ermöglicht Halbleiterherstellern, Partikel mit Einfluss auf Produktivität und Qualität zu erkennen, die mit weniger empfindlichen Technologien nicht zu erfassen sind“, sagte Brian Knollenberg, VP für Elektronik bei Particle Measuring Systems. Er fuhr fort: "Das hilft ihnen schnell auf Partikelereignisse zu reagieren, lange bevor Oberflächenanalysen- oder Ertragsdaten zur Verfügung stehen. Mit den flexiblen Einbaumöglichkeiten hilft der Chem 20 unseren Kunden bei der Optimierung der Prozesschemikaliensysteme von der Anlieferung bis zum Einsatzort, mit verbesserten Statistiken für strengere Kontrolle der Verfahren."

Über Particle Measuring Systems

Particle Measuring Systems Inc. (PMS), eine Tochtergesellschaft der Spectris plc ist ein weltweiter Technologieführer bei Umweltmonitoringsystemen. PMS ist Erfinder des Laserpartikelzählers und ist heute der führende Anbieter von Lösungen für die Überwachung und Steuerung von vielen Formen der Kontamination, die sich auf Unternehmen auswirken, die in extrem sauberer Umgebung peroduzieren. Für weitere Informationen über PMS besuchen Sie unsere Webseite pmeasuring.com.


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