Monitoring im Minienvironment

Zusammenfassung
Durch das immer weiter Voranschreiten der Minienvironment-Technologie, bei der die kostspieligen hochwertigen Reinräume durch kleine lokale Einheiten abgelöst werden, kommt im verstärkten Maße die Frage nach einem Monitoring im Minienvironment auf. Dabei können die Erfahrungen des Monitorings in herkömmlichen Reinräumen genutzt und durch spezifische Anpassungen an die Minienvironment-Technologie angepaßt werden. Es treten neue Probleme und Anforderungen auf, die bei herkömmlichen Reinräumen in dieser Form nicht auftraten.
- Definition des Minienvironments
- Arten von Minienvironment
- Überwachung im Minienvironment
- Partikelgrößen
- Differenzdruck
- Temperatur, Feuchte, Keimzahl, Luftgeschwindigkeit
Meßtechnik
- Partikelmeßtechnik
- Differenzdruckmeßtechnik
- Modularer Aufbau eines Monitoringsystems im Minienvironment
- Partikelmonitoring
- Differenzdruckmonitoring
- Temperatur- und Feuchtemonitoring
- Software
Detailierte Ausführungen im angehängten pdf