Entwicklungstrends der lokalen Reinraumtechniken in Europa und den USA

In Europa und den USA geht man den Weg der lokalen Reinräume, der Mini- bzw. Microenvironments. Es zeichnen sich 4 Möglichkeiten ab, diese lokalen Reinräume durch Enclosure (Einhausungen) zu realisieren
Enclosure
Die Enclosure sind Einhausungen zur Schaffung eines Minienvironments an einem Prozeßort, Handlingsort, Inspektionsort usw.
Hang Ceiling
Hang Ceiling ist ein Enclosure, welcher an der Reinraumdecke über dem Equipment aufgehängt ist. Er setzt voraus, daß die Reinraumdecke von ihrer baulichen Beschaffenheit für diese Art der Enclosure geeignet ist (Statik). Stand Floor
Stand Floor ist eine Art von Enclosure, welche bei Reinraumdecken eingesetzt wird, die nicht für Hang Ceiling geeignet sind.
Stand Floor + Filter-Fan-Unit
Stand Floor + Filter-Fan-Unit ist eine Art von Enclosure, welche bei Reinraumdecken eingesetzt wird, die nicht der geforderten Reinheitsklasse entsprechen und bei denen es nicht möglich ist die entsprechenden Filter in der Reinraumdecke einzubauen, bzw. wenn die für die Maschine günstige Strömungsrichtung von der im Raum herrschenden Strömungsrichtung abweicht.
Detailierte Ausführungen im angehängten pdf