Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik
Unter Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung versteht man alle Techniken zu lokalen Reinräumen, Minienvironments usw.. Unter Reinraumtechnik im Sinne dieses Artikels werden alle Maßnahmen zur Kontaminationsminderung verstanden. Als Kontaminanten sind nicht nur partikelförmige Verunreinigungen von Prozeßmedien wie Luft, DI-Wasser und anderen Gasen und Flüssigkeiten zu verstehen, sondern auch nicht-partikelförmige ionische Verunreinigungen, Einflüsse elektromagnetischer Strahlung, Temperatur, Feuchte, Elektrostatik u.v.a.m.
Der Cocktail an Einflüssen läßt sich am leichtesten dadurch beherrschen, daß man versucht, die Reichweite verschiedener Einflüsse durch physikalisch-chemische Barrieren so klein wie möglich zu halten. Beispiel hierfür sind SMIF-Boxen in der Halbleitertechnik und CIP/SIP in den Steriltechniken.
Es herrscht in den verschiedenen Anwendungsbereichen der Reinraumtechnik eine relative Begriffsvielfalt, obwohl es sich häufig um ein und den gleichen oben kurz angerissenen Tatbestand der Kontaminationseingrenzung handelt. Es soll versucht werden die Gemeinsamkeiten herauszustellen und die gängigen Begriffsbildungen miteinander zu verbinden. Um fehlerfreundliche reinraumtechnische Systeme zu errichten und aufrechtzuerhalten sowie von einem 'postmortem' zu einem 'präventiven' Standpunkt zu gelangen, müssen auch die abgegrenzten Systeme kontinuierlich überprüft werden. Häufig kommt es aber gerade bei der Probenahme, durch die Meßtechnik oder durch nachgeschaltete Datenverarbeitung zu einer Beeinflussung der gewünschten Meßgröße, so daß eine signifikante Überprüfung der Kontaminationsarmut mit Schwierigkeiten verbunden ist.
Daß und in welcher Form Einschlußtechniken zur Fehlerfreundlichkeit beitragen können, wird anhand der Mikroelektronik und am Beispiel der Steriltechniken aufgezeigt.
Detailierte Ausführungen im angehängten pdf.
Der Cocktail an Einflüssen läßt sich am leichtesten dadurch beherrschen, daß man versucht, die Reichweite verschiedener Einflüsse durch physikalisch-chemische Barrieren so klein wie möglich zu halten. Beispiel hierfür sind SMIF-Boxen in der Halbleitertechnik und CIP/SIP in den Steriltechniken.
Es herrscht in den verschiedenen Anwendungsbereichen der Reinraumtechnik eine relative Begriffsvielfalt, obwohl es sich häufig um ein und den gleichen oben kurz angerissenen Tatbestand der Kontaminationseingrenzung handelt. Es soll versucht werden die Gemeinsamkeiten herauszustellen und die gängigen Begriffsbildungen miteinander zu verbinden. Um fehlerfreundliche reinraumtechnische Systeme zu errichten und aufrechtzuerhalten sowie von einem 'postmortem' zu einem 'präventiven' Standpunkt zu gelangen, müssen auch die abgegrenzten Systeme kontinuierlich überprüft werden. Häufig kommt es aber gerade bei der Probenahme, durch die Meßtechnik oder durch nachgeschaltete Datenverarbeitung zu einer Beeinflussung der gewünschten Meßgröße, so daß eine signifikante Überprüfung der Kontaminationsarmut mit Schwierigkeiten verbunden ist.
Daß und in welcher Form Einschlußtechniken zur Fehlerfreundlichkeit beitragen können, wird anhand der Mikroelektronik und am Beispiel der Steriltechniken aufgezeigt.
Detailierte Ausführungen im angehängten pdf.
