Fab-Automatisierung live: Roth & Rau - Ortner präsentierte mobilen Transport-Roboter für Halbleiterfabriken auf der Semicon Europa

Mit Hilfe von Scout können sich Operatoren auf ihre wichtigen Aufgaben konzentrieren. / Scout helps operators and allows them to concentrate on important tasks.

Die neue Produktversion "Scout active" kann Materialien nicht nur transportieren sondern auch selbständig holen und abladen. / The new product version “Scout active” can not only transport materials, but it also can pick and place those.

Die Produktversion "Scout Reticle Transport" dient zum automatisierten Transport von Fotomasken (reticle) in Chipfabriken. / The product version „Scout reticle transport" automates the transport of reticles in semiconductor fabs.

Scout kann selbst dort sicher eingesetzt werden, wo Mensch und Maschine eng zusammen arbeiten. / Scout can even be used safely in areas where people and machines work closely together.

Ansicht von Scouts Benutzeroberfläche. / Scout's touch screen in detail.

Auf der Halbleitermesse Semicon Europa präsentierte die Roth & Rau - Ortner GmbH erstmals ihren mobilen Reinraum-Roboter Scout active. Als Spezialist für Fabrikautomatisierung hat das Unternehmen den frei navigierenden Roboter gemeinsam mit seinem Partner MetraLabs GmbH entwickelt.

Ausgestattet mit einem 6-Achs-Roboter übernimmt Scout active den flexiblen automatisierten Materialtransport in Halbleiterfabriken und anderen reinen Produktionsumgebungen. Der Roboter kann somit Waferkassetten nicht nur transportieren, sondern diese auch selbständig abholen und abstellen. „Bisher war Scout nur als reines Transportfahrzeug bekannt“, so Dr. Karli Hantzschmann, Bereichsleiter „Automation“ der Roth & Rau - Ortner GmbH. „Jetzt wird er zu einem aktiven System, das Operatoren neben den notwendigen Transportaufgaben auch das Materialhandling abnimmt – so können Fabs effizienter produzieren und damit wertvolle Zeit und zugleich Kosten sparen.“

Autonom agierender Scout für effizienteren Materialtransport in Halbleiterfabriken

Scout navigiert autonom und benötigt keinerlei Führungssysteme auf dem Boden oder an der Decke. Über WLAN und grafische Benutzeroberfläche können neue Transportaufträge generiert und wichtige Statusinformationen wie z.B. sein aktueller Standort in der Fabrik angezeigt werden. Scout ist reinraumtauglich bis zur Klasse ISO 3 / US FED 1 und hat mit über 5.000 km Laufleistung im Reinraum seine Zuverlässigkeit bewiesen.

Eingesetzt werden kann Scout überall dort, wo ein festinstalliertes Transportsystem wie ein Schienen- oder Conveyorsystem nicht realisierbar oder zu aufwändig wäre. „Durch seine kompakte Größe und die zuverlässige Sensortechnik kann Scout sehr sicher auf engstem Raum mit Mensch und Maschine arbeiten“, erklärt Hantzschmann.

Scout ist in der Lage, verschiedene Materialien und Produkte zwischen beliebigen Punkten in der Fabrik zu befördern, Messungen durchzuführen sowie Werkzeuge und Hilfsmittel zu handhaben. Durch verschiedene Aufbauten für die Handhabung (z.B. Roboterarme oder Linearachsen) und den Transport (z.B. für SMIF Pods und HA 200 Boxen) lässt sich Scout je nach Einsatzwunsch an unterschiedliche Bedürfnisse anpassen.

Smarte Automatisierungslösung für wettbewerbsfähigere Chipfabriken

Scout ist ein integraler Bestandteil des “Missing Link”-Konzepts von Roth & Rau - Ortner, das maßgeschneiderte Automatisierungslösungen für bestehende Halbleiterfabriken bietet. Das Angebot richtet sich vor allem an Fertigungsstätten mit teilautomatisierter Produktion: In älteren Fabs erfolgt das Materialhandling zwischen den Fertigungsschritten häufig noch manuell. „Das bindet wertvolle Arbeitskräfte, verursacht einen hohen Zeitaufwand und signifikante Kosten und ist obendrein anfällig für Fehler. Ortner hat für solche Fertigungslinien Technik ‘maßgeschneidert’, die das Handling der Wafer und Kassetten im Reinraum übernimmt und Chipfabriken schließlich auch wettbewerbsfähiger macht”, so Dr. Karli Hantzschmann abschließend.