Institut für Mikroelektronik: Reinraum-Einweihung mit Minister Schmid und OB Fritz Kuhn

Institut für Mikroelektronik Stuttgart – Außenansicht

Institut für Mikroelektronik Stuttgart – Gesamtansicht

Neuer Reinraum – Innenansicht Anfang April 2013

Neuer Reinraum – Extrem steifer Waffelboden aus Stahlbeton, 70cm dick mit 1.200 40cm-Löchern

Anlieferung Elektronenstrahlschreiber Vistec SB4050 am 17. April 2013 – 11 Tonnen Hightech am Haken

Elektronenstrahlschreiber Vistec SB3050/4050 (Quelle: Vistec Electron Beam GmbH)

Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberbürgermeister Fritz Kuhn weihten am 22. April 2013 den neuen Reinraum am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) in Stuttgart-Vaihingen ein.

Stuttgarts Mikroelektronik-Schmiede bekam endlich mehr Platz für neues Hightech-Equipment. Nach zwei Jahren Bauzeit wurde am 22. April der neue Reinraum am Institut für Mikroelektronik Stuttgart feierlich eingeweiht. Zeitgleich wurden der ebenfalls neu gebaute Sozialbereich des Instituts und die Anlieferung eines Elektronenstrahlschreibers der neuesten Generation gefeiert. Das Land unterstützte den Anbau und die Gerätebeschaffung mit insgesamt 14,7 Millionen Euro. 

Minister Schmid: "Durch den Ausbau der zur Verfügung stehenden Reinraumfläche schaffen wir die notwendige Infrastruktur, um die Spitzenforschung am Institut für Mikroelektronik Stuttgart zu stärken und die Zukunftsfähigkeit des Instituts langfristig zu sichern. Als Partner kleiner und mittlerer Unternehmen leistet das Institut einen wichtigen Beitrag zu der für unsere Wirtschaft so wichtigen Umsetzung von Ergebnissen aus Forschung und Entwicklung in die industrielle Praxis". 

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart ist eine der zwölf Vertragsforschungseinrichtungen der baden-württembergischen Innovationsallianz innBW und hat eine national und international führende Position auf dem Gebiet der Nanostrukturierung und der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen. Durch den Reinraum-Anbau kann die Produktionsfläche für Halbleiter und optische Komponenten um mehr als die Hälfte vergrößert und in der Qualität verbessert werden. Mit dem neuen Elektronenstrahlschreiber kann das Institut auch künftig einen wichtigen Beitrag bei der Entwicklung und Herstellung extrem präziser optischer Komponenten, wie sie für die Halbleiterindustrie benötigt werden, leisten. 

Wachstum bei Nanoprodukten

Die Apparaturen, die heute weltweit dazu eingesetzt werden, um winzige Schaltungsstrukturen auf Silizium-Scheiben (Wafern) abzubilden, brauchen extrem präzise und bis in den Nanometerbereich fehlerfreie Optiken. Ein führender Anbieter solcher Linsensysteme ist die Carl Zeiss SMT GmbH aus Oberkochen. Zeiss SMT ist exklusiver Partner des niederländischen Unternehmens ASML, dem Weltmarktführer in der Herstellung so genannter Wafer-Stepper, die kostenintensivsten Geräte in der Halbleiterfertigung. Gemeinsam mit dem Institut für Mikroelektronik haben diese Unternehmen neuartige optische Komponenten entwickelt, die es erlauben, noch feinere Strukturen zu belichten. Wesentliche Elemente dieser Nanometer-Optiken werden am Institut für Mikroelektronik entworfen, derzeit in kleinen Mengen gefertigt und mit Hilfe des neuen Elektronenstrahlschreibers künftig in Serie produziert. 

Mikroelektronische Systeme 

Bei der Gründung des Instituts im Jahr 1983 stand die Sorge um den technologischen Anschluss der heimischen Wirtschaft, insbesondere der kleinen und mittleren Unternehmen in Sachen Mikroelektronik im Vordergrund. So wurde 1986 der erste Reinraum mit einer vollständigen Produktionsumgebung für Mikrochips in Stuttgart-Vaihingen in Betrieb genommen. ASICs (application-specific integrated circuits), also Mikrochips, die speziell für einen Kunden entworfen und hergestellt werden, begannen gerade ihren Siegeszug. 

IMS CHIPS konnte erfolgreich eine Nische zwischen Mikrochips von der Stange einerseits und Großserien-ASICs für Massenprodukte andererseits besetzen. Insbesondere die in Baden-Württemberg stark mittelständisch geprägte Maschinenbau-Industrie und die Branche der Automatisierungstechnik profitiert seither von den Kleinserien-ASICs aus Stuttgart. Die Qualität der Chips, die nach industriellen Standards gefertigt wer-den, genügt sogar den Ansprüchen der Raumfahrt: aktuell sind tausende Chips aus Vaihingen an Bord von Radarsatelliten im Weltraum, die vom EADS-Tochterunternehmen Astrium in Friedrichshafen gebaut wurden. 

In der Medizintechnik sorgen immer wieder die Retina-Implantate für Blinde für Aufsehen – kaum bekannt ist, dass die ersten Chips, die jemals erfolgreich Menschen ins Auge implantiert wurden, ebenfalls vom Institut für Mikroelektronik entworfen und hergestellt wurden. An der Entwicklung von Kameras für Fahrerassistenzsysteme war und ist das Institut ebenfalls maßgeblich beteiligt und setzte mit den hochdynamischen HDRC-Bildsensoren Maßstäbe.

Heute bedient das Institut eine Vielfalt von Anforderungen für mikroelektronische Systeme.

Forschen für die Zukunft 

Die Strukturen der Mikrochips werden nicht nur immer kleiner und führen zu immer leistungsfähigeren Produkten, sie werden auch flexibler – im wörtlichen Sinn. Die 2009 mit dem Landesforschungspreis für Institutsleiter Prof. Joachim Burghartz gekrönte Erfindung ultradünner Mikrochips erlaubt die industrielle Fertigung hauchdünner Siliziumchips in nahezu beliebiger Form und Größe, die hochflexibel sind und dabei komplexe Elektronik auf kleinstem Raum enthalten. Ein kürzlich gestarteter und vom BMBF geförderter Forschungsverbund unter Führung des Instituts widmet sich genau dieser Thematik: komplexe Systeme in Folien. Dass sich am Projekt mit Festo, Pilz und Würth  bekannte Unternehmen aus Baden-Württemberg beteiligen, zeigt die Relevanz, die die Wirtschaft der Folienelektronik künftig beimisst.

IMS CHIPS

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung im Land Baden-Württemberg und betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Produktion auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Das Institut ist Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg und sieht sich als Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. Das Institut unter der Leitung von Prof. Joachim Burghartz hat knapp 100 hochqualifizierte Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter.