Mikrooptische Systeme für intelligente Steuerung

Der Prozess der Photolithographie muss absolut staubfrei erfolgen. Neben der hochmodernen Reinraumtechnologie, sorgen auch spezielle Kleidung und Möbel für einen kontaminationsfreien Ablauf. Die Mitarbeiter betreten und verlassen den Reinraum über eine Personenschleuse, die auch als Umkleideraum benutzt wird.

In dem 100 qm großen Reinraum CleanCell© der ISO-Klasse 6 werden Wafer für mikrooptische Komponenten entwickelt und getestet. Fenster und Beleuchtung werden mit Gelblichtfolien versehen, da die empfindlichen Lacke keinem UV-Licht ausgesetzt werden dürfen.

Die intelligente Steuerung von elektronischen Geräten und Datentransfers schreitet in atemberaubender Geschwindigkeit voran. Die Entwicklung von immer kleineren und präziseren Sensoren schaffen Möglichkeiten, die noch vor einigen Jahren utopisch erschienen. Ermöglicht wurden diese Entwicklungsschritte durch den Einsatz von präziser Reinraumtechnik, die die empfindlichen Produkte selbst vor kleinsten Verunreinigungen schützt.

Das Unternehmen Heptagon Advanced Micro Optics gehört mit  revolutionären  Entwicklungen von mikrooptischen Systemen zu den weltweit innovativsten Firmen. So werden beispielsweise von Heptagon entwickelte Licht- und Bewegungssensoren zur intelligenten Steuerung bei Smartphones eingesetzt. An ihrem Standort Zürich hat das internationale Unternehmen das Forschungs- und Entwicklungszentrum angesiedelt. Dort hat Heptagon jetzt weitere 100 qm Reinraum mit neuester Technik für neueste Prozesse der Wafer-Technologie installiert.

Die eingesetzte hochpräzise Wafertechnologie kann schon durch kleinste Verunreinigungen bei der Prozeßverarbeitung erheblich gestört werden. Die Produktion dieser empfindlichen Komponenten findet daher ausschließlich in Reinräumen statt, die über spezielle Luftführung und Filteranlagen auch kleinste Schwebeteilchen aus der Umgebungsluft entfernen. Der Entwicklungsprozess erfolgt in einem auf die Anforderungen der Photolitographie angepassten Reinraumsystem CleanCell©, das eine Reinraumluftqualität der Reinraumklasse ISO 6 aufweist. Die integrierte Klimatechnik sorgt für prozeßbedingt erforderliche konstante Temperaturen und Feuchtigkeit. 

Mit der Realisierung der technisch anspruchsvollen Anlage wurde die auf Reinraumtechnik spezialisierte Firma SCHILLING ENGINEERING GmbH beauftragt. 

Eine voll integrierte Umluft- und Rückluftführung in den Reinraumwänden sorgt für eine präzise Reinraumspülung nach dem Prinzip der turbulenten Mischlüftung. Diese innovative Umlufttechnik, welche energetisch sehr effizient ist, wie auch der Einsatz von Ultra-Hochleistungsfiltern, waren für Heptagon ausschlaggebende Gründe sich für die süddeutsche Firma zu entscheiden.

Zufrieden zeigen sich die Schweizer Forscher auch mit der Installation des innovativen Reinraum-Kontrollsystems CR Control® . Es stellt Verbindungen zu den angeschlossenen Fühlern, die Druck, Feuchte und Temperatur messen, zu Filtermodulen, Klimaschränken, Tür- und Lichtfunktionen und weiteren Komponenten her. Alle wichtigen Funktionen werden überwacht und aufgezeichnet, sie werden zudem auf einem zentralen Touchscreen übersichtlich dargestellt und können von dort einzeln angesteuert und reguliert werden.

Das Reinraumsystem wurde  in enger Zusammenarbeit speziell auf die Bedürfnisse des Forschungs- und Entwicklungsstandortes angepasst. Der Reinraum wurde inklusive Planung, Aufbau und Qualifizierung in einem Zeitraum von nur 3 Monaten realisiert und betriebsbereit übergeben.