Reinraum Rotomat® optimiert Wafer-Produktion

Die Kalottenträger für die Wafer werden im Reinraum Rotomat® CleanStore so lange gelagert, bis sie in der Bedampfungsanlage zum Einsatz kommen.

Durch das Umlaufregal von Hänel konnte die benötigte Lagerbodenfläche im Reinstraum beibehalten werden und das bei einer Verdreifachung der Lagerkapazität von 12 auf 36 Wafer-Kalottenträger.

Automatisierte Kommissionier-Systeme werden immer unentbehrlicher. Am Standort Lenzburg optimiert die ABB Schweiz AG ihre Wafer-Produktion sogar im Reinraum mit einem automatisierten Umlaufregal. Auf einer geringen Stellfläche verdichtet ein von Hänel speziell für den Reinraum entwickelter Rotomat® effizient den Lagerraum.

In der Energie- und Automatisierungstechnik ist die Palette der ABB Erzeugnisse immens. Unter anderem entwickelt und produziert der Konzern Produkte von Hochspannungs-Schaltanlagen bis zum mikroskopischen Hochleistungs-Halbleiter. Die zukunftsweisenden Technologien und die hohe Zuverlässigkeit der Produkte sichern ABB eine führende Stellung im Weltmarkt.

Am Standort Lenzburg entwickelt, produziert und vertreibt die ABB Schweiz AG Stromnetzsysteme, Semiconductors und Hochleistungs-Halbleiter. Die wichtigste Aufgabe im Reinraum ist dabei die Adhäsion von Partikeln in allen Betriebszuständen zu verhindern.

ABB Process Engineer Eustachio Faggiano verdeutlicht: „Das von Hänel speziell für den Reinraum entwickelte automatisierte Umlauflager besitzt keine Grate und Spalten. Die Oberflächen sind glatt und lassen sich leicht mit Isopropanollösungen reinigen.“ Faggiano ist der verantwortliche Manager für den im Reinraum installierten Industrielift Rotomat® CleanStore von Hänel, der die Reinraumklasse 5 nach DIN EN ISO 14644-1 erfüllt mit Filterklasse HEPA H14. Selbst die Protokollierung der Messwerte ist bei diesem Rotomat® Industrielift mittels Datenloggern optional möglich. Hänel entwickelte dieses High-Tech-Lager speziell für Reinräume als in sich abgeschlossenes System. Durch die doppelwandi-ge Ausführung wird die Luft in einem Filter direkt im Umlauflager gereinigt. So können keine Partikel  in den Reinraum gelangen. Faggiano fügt an: „Nach der Beladung der Kalottenträger mit Wafern werden diese im Rotomat® CleanStore so lange gelagert, bis sie in der Bedampfungsanlage zum Einsatz kommen. Die Wafer dürfen in der Zwischenzeit nicht mit Partikeln in Berührung treten.“ 

Im Übrigen dürfen die leeren Kalotten ebenfalls nicht durch Staubpartikel verschmutzt werden. Sie werden daher auch im Umlauflager aufbewahrt. So werden im neuen High-Tech-Lager auf einer kleinen Stellfläche möglichst viele Kalottenträger kompakt und geschützt untergebracht.

Fazit

Das Hänel CleanStore Prinzip basiert auf einer ausgefeilten Doppelwand-Technologie in Verbindung mit Filter- und Lüftersystemen. Die raumsparende Rotomat® Technologie bildet ein effektives Lagerkonzept und wurde von Hänel für Reinräume weiterentwickelt.

Der Rotomat® CleanStore wird sowohl in der Elektronik- und Halbleiterindustrie als auch in der Medizin-Technik flexibel und wirtschaftlich eingesetzt. Alle Teile sind geschützt und nach definierten Reinraum-Richtlinien eingelagert. Die Bedienung des Hänel Rotomat® Industrieliftes ist einfach. Durch die kompakte Bauweise müssen keine baulichen Veränderungen durchgeführt werden. Ferner werden durch die kurzen Ablage- und Zugriffszeiten effektiv Kosten für die Lagerhaltung eingespart.

Bei ABB Lenzburg wurden die Wafer-Kalotten zuvor in einem herkömmlichen Fachbodenregal gelagert. Durch das speziell von Hänel für den Reinraum entwickelte, kompakte und automatisierte Kommissionier-System CleanStore wurde die Stellfläche für das Waferlager bei einer Verdreifachung der Lagerkapazität von 12 auf 36 Wafer-Kalottenträger beibehalten.