IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber
IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber
Die Mikroelektronik-Spezialisten in Stuttgart brauchen mehr Platz für neues Hightech- Equipment. Am 15. Februar findet deshalb der Spatenstich zu einer Reinraumerweiterung in Vaihingen statt. Bei IMS CHIPS wird der Reinraum mit einem Anbau um mehr als die Hälfte der bisherigen Fläche vergrößert. Der Grund: immer kleinere Strukturen erfordern immer aufwändigere und größere Geräte. Die Mikroelektronik und die Nanotechnologie benötigen künftig Produktionsanlagen, mit denen Strukturen erzeugt werden können, die weit über zehntausendmal dünner sind, als ein menschliches Haar. IMS CHIPS rüstet sich für diese Anforderungen und wird einen Elektronenstrahl- Schreiber der neuesten Generation der Firma Vistec Electron Beam GmbH aus Jena beschaffen. Dieser ermöglicht die Belichtung vielfältiger Substrate mit minimalen Strukturbreiten von 30 Nanometern bei sehr hohem Durchsatz.
Die Finanzierung dieses aufwändigen, neuen Großgeräts war nur möglich über einen Forschungsverbund zwischen der Carl Zeiss SMT GmbH und IMS CHIPS. Finanzielle Unterstützung leisteten sowohl das Land Baden-Württemberg als auch die Carl Zeiss SMT GmbH. Damit wird die bei IMS CHIPS vorhandene weltweit einmalige technologische Infrastruktur zur Serienfertigung von Nanostrukturen auf runden Wafer- und rechteckigen Maskensubstraten für die nächste Dekade gerüstet sein.
IMS CHIPS unterstützt in erster Linie kleine und mittlere Unternehmen bei der Entwicklung mikro-/nanoelektronischer und mikro-/nanomechanischer Systeme und Komponenten. Weiterhin kooperieren IMS CHIPS und die Carl Zeiss SMT GmbH seit vielen Jahren auf dem Gebiet hochkomplexer Scanner-Objektive, die in Waferscannern zur Anwendung kommen. Diese vertreibt der Weltmarktführer ASML (Niederlande), der in strategischer Partnerschaft mit der Carl Zeiss SMT GmbH steht. Der neue Schreiber bei IMS CHIPS bildet die Grundlage für die Fortsetzung dieser erfolgreichen Zusammenarbeit einerseits und ermöglicht andererseits, dass den mittelständischen Partnern und Kunden von IMS CHIPS auch weiterhin die fortschrittlichste Strukturierungstechnologie für Ihre Entwicklungen zur Verfügung steht.
Bild: Nanostrukturen in Silizium
