KUKA Roboter bringt Fortschritt in den Reinraum

KUKA Roboter bringt Fortschritt in den Reinraum

KUKA Roboter Schweiz AG zeigt gemeinsam mit Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik AG berührungslose Handhabung
    
Keine Zauberei, sondern modernste Technologie stellt die KUKA Roboter Schweiz AG in einer Reinraum-Zelle vor.  Dabei handelt es sich um eine Applikation, die auf der Technologie des ?berührungslosen Greifers? basiert. Gemeinsam mit  der Firma Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik AG in Regensburg entwickelt, sorgte die Zelle  schon auf der mediSIAMS 2009 für Aufsehen.

Ultraschall- Schwingungen, die mit einer Frequenz von über 20kHz oberhalb des menschlichen Hörvermögens liegen, verhelfen zu dieser unkomplizierten Lösung, die problemlos auf jedem üblichen Wafer-Handler installiert werden kann.
Der Ultraschall wird durch Schwingungserzeuger generiert, die durch eine getrennte Leistungselektronik versorgt werden. Um jeden mechanischen Kontakt zwischen Werkzeug und Scheibenoberfläche zu vermeiden, wird im Spalt zwischen Greifer und Wafer per Ultraschall ein hochverdichtender, tragender Gasfilm erzeugt. So schwebt der Wafer reibungsfrei auf dem Gasfilm und wird durch die Anschläge fixiert. Die Greiferabmessungen sind auf Standardwaferkassetten abgestimmt und haben im Greiferbereich eine maximale Höhe von 5,9 mm.
    
Kein Klemmen und keine Berührung- eine ideale Applikation für den Reinraum
    
Mit dieser innovativen Lösung kann ein breites Spektrum von Gütern gehandhabt werden. Einzig die Oberflächenbeschaffenheit der Gegenstände muss bestimmten Voraussetzungen entsprechen. So sollten die weitgehend plan- und reproduzierbar, sowie schallhart sein.

Klar, dass diese berührungslose und schonende Form des Handhabens vorwiegend für den Reinraum der elektronischen Industrie im Bereich Silicium-Wafer- oder Plasmabildschirm- Handhabung interessant ist. Aber nicht nur dort kann diese Technik zum Einsatz kommen. Eine Vielzahl weiterer Anwendungen kann von dieser innovativen Technologie profitieren. So können mit ihr neben Halbleiterwafer und ?bauelementen, BioChips und Flachbildschirmen auch Gläser, bearbeitete Oberflächen, lackierte Bauteile, Beschichtungen, kratzempfindliche Komponenten oder bedruckte Teile gehandhabt werden. Somit rücken dank dieser Technologie Vorteile in den Vordergrund, die heutzutage immer wichtiger werden. Der Verzicht auf Druckluftversorgung zur Herstellung des Schwebezustandes ist dabei nur einer von vielen positiven Aspekten. Auch die geringe Anforderung an die Infrastruktur bei einer solchen Handhabung ist ein Argument. Letztendlich werden auch dynamische Gaswirbel vermieden, was wiederum ein spezieller Vorteil für den Reinraum darstellt, weil so kein Einfluss auf den Strömungszustand ausgeübt wird. Und der geringe Energieverbrauch macht die Lösung zur echten Zukunftstechnologie.

KUKA Roboter tausendfach geprüft und für den Reinraum bewährt
    
Doch nicht nur die Technologie des Greifers macht eine Applikation unentbehrlich für den Reinraum. Vielmehr brauchen diese Greifer auch den passenden Roboter. Und an diese stellt der Reinraum besondere Anforderungen wie Partikelfreiheit, welche die KUKA Reinraum Roboter erfüllen und zwar auf höchstem Produktivitätsniveau. Getestet vom Fraunhofer Institut nach DIN EN ISO-Kriterien erfüllen diese Roboter folglich höchste Ansprüche.
Als weltweit einziger Hersteller bietet KUKA eine komplette Reinraum-Linie für Traglasten von 3 bis 500 kg. So ist sichergestellt, dass alle anfallenden Prozessschritte mit einer einzigen Roboter-Entwicklungsumgebung abgedeckt werden können. Zudem steht zukunftsorientierten Anwendern hier eine Roboterserie zur Verfügung, die ein Maximum an Geschwindigkeit bei absoluter Präzision bietet. Mit speziell ausgelegten Materialien und optimierten Dichtungen sind KUKA Roboter folglich perfekt für den Reinraum ausgelegt.

Gemeinsam sind somit ein KUKA Roboter und ein berührungsloser Greifer eine unwiderstehliche Kombination für den Reinraum, flexibel und ausgerüstet für jede Art der Anwendung.