Elektrostatische Aufladung und Luftionisation im Reinraum

In jüngster Zeit wurden bedeutende Fortschritte in der Produktionsoptimierung bezüglich des Ausschusses in der ultrareinen Halbleiterherstellung sowie auch anderen Herstellungsprozessen unter Reinraumbedingungen erzielt. Trotzdem bleiben, selbst in Klasse 1 Reinsträumen, die Probleme der unerwün…