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LITHOSCALE® Systeme auf Basis von EVGs MLE™ (Maskless Exposure) Technologie machen die Vorteile der digitalen Lithographie für ein breites Spektrum von Anwendungen und Märkten nutzbar
EV Group bringt maskenlose Lithographie mit LITHOSCALE® in die Hochvolumenproduktion
EV Group (EVG), ein führender Entwickler und Hersteller von Anlagen für Waferbonding- und Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie, stellte heute das maskenlose Belichtungssystem LITHOSCALE® vor - die erste Produktplattform auf Basis der revolutio…