Präzise Maschinen für die nächste Generation von LED-Chips

Breaking GaN

Der Weg zu neuen LED-Technologien erfolgt Schicht für Schicht und ist wortwörtlich ätzend. Damit am Institut für Halbleitertechnik etwa blaue LEDs aus Galliumnitrid (GaN) entstehen können, braucht es daher hochspezialisiertes Reinraum-Equipment. Mit zwei neuen Geräten öffnen sich jetzt weiter…

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