![Abb. 1: Unterschiedliche Luftqualitäten werden in Halbleiter-Reinräumen getrennt geführt. (Foto: Luftmeister GmbH) Abb. 1: Unterschiedliche Luftqualitäten werden in Halbleiter-Reinräumen getrennt geführt. (Foto: Luftmeister GmbH)](/uploads/images/_scale/adobestock_28313115luftleitungenmitkrmmern_169_626x351.jpg)
![Abb. 2: Luftmeister „Freiburg 1-Zoll“, die mit Halar beschichtete Spezial-Durchfluss-Messlösung. (Foto: Luftmeister GmbH) Abb. 2: Luftmeister „Freiburg 1-Zoll“, die mit Halar beschichtete Spezial-Durchfluss-Messlösung. (Foto: Luftmeister GmbH)](/uploads/images/_scale/lmg_vs48_rear_169_626x352.jpg)
![Abb. 3: Übersicht über die Kalibrierpunkte bei einem konkreten Projekt (4 Luftarten à 5 Messeinrichtungen). (Quelle: Luftmeister GmbH) Abb. 3: Übersicht über die Kalibrierpunkte bei einem konkreten Projekt (4 Luftarten à 5 Messeinrichtungen). (Quelle: Luftmeister GmbH)](/uploads/images/_scale/tabelle_169_3_626x352.jpg)
![Abb. 4: Luft-Volumenstrom-Kalibrierstand der Luftmeister GmbH. Hier werden mit höchster Präzision zwischen 25 und 36.000 m3/h erzeugt und unterschiedlichste Luftmeister-Messlösungen abgeglichen. (Foto: Luftmeister GmbH) Abb. 4: Luft-Volumenstrom-Kalibrierstand der Luftmeister GmbH. Hier werden mit höchster Präzision zwischen 25 und 36.000 m3/h erzeugt und unterschiedlichste Luftmeister-Messlösungen abgeglichen. (Foto: Luftmeister GmbH)](/uploads/images/_scale/20210317kalibrierstandendingendsenseiteundvorderseite_169_626x352.jpg)
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„GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – anspruchsvolle Abluftmengen in Halbleiter-Reinräumen präzise überwachen“
Reinräume sind nicht selten dadurch gekennzeichnet, dass einer hochreinen Zuluft eine stark belastete Abluft gegenübersteht. So entstehen beispielsweise bei Halbleiter-Produktionen mit ihren nasschemischen Fertigungsstufen aggressive Abluft-Qualitäten.
Um chemische Reaktionen unterschiedlicher Abluftart…