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„GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – anspruchsvolle Abluftmengen in Halbleiter-Reinräumen präzise überwachen“
Reinräume sind nicht selten dadurch gekennzeichnet, dass einer hochreinen Zuluft eine stark belastete Abluft gegenübersteht. So entstehen beispielsweise bei Halbleiter-Produktionen mit ihren nasschemischen Fertigungsstufen aggressive Abluft-Qualitäten.
Um chemische Reaktionen unterschiedlicher Abluftart…